【摘要】 通过化学气相沉积方法（CVD）制备了In-Al共掺杂的氧化锌纳米串.扫描电镜观察到纳米片沿生长方向均匀排列，直径约为50～150 nm，长度约为5～20 μm.X射线衍射结果表明样品具有ZnO六角纤锌矿结构.并且研究了In-Al共掺杂的氧化锌纳米串的生长机制，并通过样品的光致发光谱可见所合成的样品具有较好晶体质量.
【关键词】 氧化锌；纳米串；光致发光
0引言
目前半导体纳米材料已备受瞩目，其中ZnO作为一种直接带隙宽禁带（Eg=3.37 eV）半导体材料是最为引人注意的材料之一[1-3].通常通过控制纳米材料的尺寸、结构或对ZnO纳米材料有效的掺杂，能够对其物理性质进行改善和调整.对其进行适当的掺杂（如在ZnO中共掺Ⅲ族和Ⅴ族元素）可实现ZnO的导电类型从n型到p型的转换，也可以使得ZnO纳米材料的光学电学性能有着显著的提高，所以研究对ZnO的有效掺杂是非常必要的.
该文重点研究了In-Al共掺杂ZnO纳米串的制备，并结合扫描电子显微镜、X射线衍射仪等仪器对样品的形貌、结构进行表征.观察到纳米片沿其生长方向相互平行排列，并研究了纳米串的生长机制.ZnO纳米串的光致发光性质，显示其具有较好的结晶质量.
1实验过程
应用CVD法合成In-Al共掺杂的ZnO纳米串：取ZnO、InN和Al粉的混合物（ZnO：0.5 g，InN：0.1 g，Al：0.1 g）作为前驱物，用于纳米材料的生长，并放在刚玉舟上置于高温炉的中心位置.将单晶Si （100片）摆放在源的下游，作为接收材料的衬底.以N2 作为载气，流速为200 sccm.加热，反应室压强保持在500 Pa，反应室的温度升温至1300 ℃，保持在这个温度下20 min.然后反应室温度自然冷却到室温，取出高温区样品，此样品距前驱物中心约26 cm，对此样品进行表征和光学性质测试.
3结论
通过简单的CVD方法合成了In-Al共掺杂的ZnO纳米串.通过SEM、TEM等测试方法对样品进行了表征，XRD谱证实样品具有ZnO六角纤锌矿纳米结构.纳米串通过两个阶段形成：通过VLS生长机制形成纳米线；接着在纳米线表面成核、垂直于纳米线外延生长纳米片；随后通过Ostwald熟化过程，形成In-Al共掺杂ZnO纳米串.In-Al共掺杂的ZnO纳米串的光致发光谱显示出所合成样品具有较强的紫外发射，预示着这种材料在短波光电子器件中的将会有一定的应用潜力.
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Abstract：
In this paper， In-Al doped ZnO nanobunches is fabricated by chemical-vapor deposition （CVD）. Platelets are regularly arrayed along the direction of growth by scanning electron microscopy. Their diameter and length are 50～150 nm and 5～20 μm， respectively. The nanobunches have wurtzite ZnO structure by XRD data. A possible growth mechanism has been discussed and the photoluminescence confirm that nanobunches have a good crystal quality.
Keywords： ZnO； Nanobunches； Photoluminescence
（责任编辑：李家云）
