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z=}=kM5O?rz,&+rjwiק&Xx-jɚ:bqD+,ҥ- &hjƃzxzuri^+-ȧj 'J^](https://tp.67gu.com/showimg.php?url=http://img.resource.qikan.cn/qkimages/kjdb/kjdb201725/kjdb20172506-1-l.jpg)
材料采用高纯度石英，实际可用的透过波长范围下限为290nm。由独立组件构成的OES采集系统包括大口径凸透镜组、WGD-3型光栅光谱仪（天津港东，光栅1200线，采用光电倍增管）、可移动升降平台和计算机控制系统。光谱仪可以在波长扫描和定波长两种模式下工作，后者用于监控及稳定等离子体，校准光路和微调谱仪进、出口狭缝之用。在累计采集数据数小时后，光学窗口被镀膜覆盖部分开始影响数据的一致性，因此每次实验后石英窗口都需经化学方法清洗（EDTA水溶液）。具体装置如图1所示。
磁控溅射氮化钽工艺的等离子体发射光谱分析
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